GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯

本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。 本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。